RBSによるβ-FeSi<sub>2</sub>のCu拡散挙動の検討

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:45 D3 (D114)

15:30 〜 15:45

^○野口雄也¹，水城達也¹，川久保雄基¹，平田智昭¹，香川成矢¹，永露友宏¹，岩本僚太郎¹，柴原幸平¹，鳴海一雅²，前田佳均^1,2 (九工大院情報工¹，原子力機構²)

キーワード：鉄シリサイド,半導体シリサイド,ラザフォード後方散乱分光法