[19p-D6-1~18] 6.4 薄膜新材料

△ [19p-D6-6] 還元条件下で作製したイットリウム酸化物エピタキシャル薄膜

^○神永健一¹，清良輔¹，福村知昭^1,2，長谷川哲也^1,2 (東大理化¹，JST-CREST²)

キーワード：パルスレーザ堆積法,Yttrium Oxide,イットリウム酸化物