[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-7] ミニマル硫酸過水洗浄装置を用いた汚染ウェハの洗浄プロセス

^○松田苑子^1,2，後藤昭広^1,2，奥田修史²，ソマワンクンプアン^2,3，原史朗^2,3 (プレテック¹，ミニマルファブ技術研究組合²，産総研³)

キーワード：minimal fab,洗浄,硫酸過水