[19p-E2-1~9] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[19p-E2-1] 高圧O₂アニールによる2層グラフェン上Y₂O₃ゲート絶縁膜の電気的絶縁性の向上

^○金山薫，長汐晃輔，西村知紀，鳥海明 (東大院工)

キーワード：2層グラフェン,ゲート絶縁膜,高圧O2アニール