[19p-E5-1~21] 12.1 作製・構造制御

△ [19p-E5-10] 高分子ナノシートをテンプレートとしたSiO₂超薄膜の作製

^○山本俊介，園部和輝，三ツ石方也，宮下徳治 (東北大多元研)

キーワード：二酸化ケイ素,Langmuir-Blodgett法,光酸化