[19p-E8-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-E8-21] 分光エリプソメトリーによるITOナノ粒子のキャリア密度解析

^○竹之下愛¹，賈軍軍²，米澤岳洋¹，山崎和彦¹，中澤弘実¹，重里有三² (三菱マテリアル¹，青学大理工²)

キーワード：エリプソメトリー,ITO,赤外線遮蔽