[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-20] 基板貼り合わせ法によるGaSb-OI on Si基板の作製とGaSb-OI p-MOSFETの動作実証

^○横山正史¹，西康一^1,2，横山春喜³，竹中充^1,2，高木信一^1,2 (東大院工¹，JST CREST²，NTTフォトニクス研³)

キーワード：GaSb