[20a-D9-1~10] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[20a-D9-5] 次世代TCAD(i) 金属/4H-SiC(0001)界面のショットキーバリア高さの第一原理計算

^○加藤信彦，森一樹，西原慧径，岡崎一行，小池秀耀 (アドバンスソフト)

キーワード：SiC,ショットキーバリア高さ,第一原理計算