[20a-D9-1~10] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[20a-D9-7] 次世代TCAD(3) 3次元プロセスシミュレーションのための幾何学的形状追跡

^○玉城哲平，池澤健夫，小池秀耀 (アドバンスソフト)

キーワード：形状変形処理