2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[20p-F12-1~6] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月20日(木) 13:30 〜 15:00 F12 (F408)

14:00 〜 14:15

[20p-F12-3] 実時間チャージポンピング法の開発

渡辺時暢1,堀匡寛1,土屋敏章2,小野行徳1 (富山大工1,島根大総合理工2)

キーワード:チャージポンピング,シリコン,界面