2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

出展者一覧

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[Av-9] アリオス(株)

■単結晶ダイヤモンド合成用装置・イオンビームスパッタ装置・ラングミュアプローブ・RFラジカルビーム源・大気圧プラズマ源・液中プラズマ源

[Ax-3] (株)エーイーティー

■マイクロ波有機化学反応装置 ■大気圧マイクロ波プラズマ源とマイクロ波電源 ■電子線形加速器 ■高電圧・パルス用装置及び部品 ■中性子シールド・中性子検出器 ■電磁界・荷電粒子解析ソフトウェアCST STUDIO STUIE ■プラズマ解析ソフトウェア VSim、USim、PrismSPECT ■ブロック共重合体解析ソフトウェア PSim

[At-4] AOV(株)

■1.グローブボックス内収納/接続型蒸着装置 ■2.真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等) ■3.複合型PLD/MBE蒸着装置 ■4.多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置