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■近赤外線カメラ (InGaAs, InGaAs / GaAsSb, CMOS) ■近赤外線カメラ
■RHEED, RHEED解析システム ■in-situウェハ温度測定システム ■UHVエバポレータ ■真空計 ■真空部品 等
■IOP英国物理学会の出版するジャーナル、マガジン、eBooks、分野別webサイト の紹介と論文募集
TBD
■卓上型コーティング装置,コンタミネーション予防・除去ツール,SEM/FIB用マイクロマニピュレータ,メカニカルシャッター
■テラヘルツ分光イメージングシステム TAS7500シリーズ ■テラヘルツ光サンプリング解析システム TAS7500TS
■マニュアルプローバー ■プローブカード
■AIP Publishing刊行の外国雑誌サンプル 他
■単結晶ダイヤモンド合成用装置・イオンビームスパッタ装置・ラングミュアプローブ・RFラジカルビーム源・大気圧プラズマ源・液中プラズマ源
■極低温冷凍機 ■4K冷凍機 ■クライオスタット ■液化窒素サーバー
■低インダクタンスアンテナを用いた”プラズマCVD装置” ■低インダクタンスアンテナを用いた”スパッタ装置”
■イオン注入及び半導体デバイス製造プロセスの受託サービス ■化合物半導体の分析技術
■ナノスケール物性評価向け第一原理・分子動力学計算プラットフォーム Nanoveats
■3C-SiC(111) on Si エピタキシャル基板 ■GaN on SiC/Siテンプレート基板およびGaN HEMT基板
■低エネルギー逆光電子分光装置LEIPS ■研究開発用途スパッタ装置
■水冷型MBE装置ならびにリボルバー式スパッタ装置、真空コンポーネント
■マイクロ波有機化学反応装置 ■大気圧マイクロ波プラズマ源とマイクロ波電源 ■電子線形加速器 ■高電圧・パルス用装置及び部品 ■中性子シールド・中性子検出器 ■電磁界・荷電粒子解析ソフトウェアCST STUDIO STUIE ■プラズマ解析ソフトウェア VSim、USim、PrismSPECT ■ブロック共重合体解析ソフトウェア PSim
■原子層堆積(ALD)装置(米国Anric Technologies社製) ■ALD成膜サービス(Al2O3, Ptなど)
■1.グローブボックス内収納/接続型蒸着装置 ■2.真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等) ■3.複合型PLD/MBE蒸着装置 ■4.多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置
■ナノサイズゼオライト・フラーレン・グラフェン・カーボンナノチューブ・微粒子元素材料