■有機半導体エレクトロニクスデバイス政策にかかる周辺技術(有機半導体ブレンドインク/有機半導体回路基礎評価TEG/フレキシブル基板上のアクティブマトリックス試作品/高精細液晶ディスプレイ試作品)、原子層堆積装置(映像によるデモンストレーション)

■フリップチップボンダー M90 ■UV PITARI ■レーザーマイクロカッティングシステム ■AW610 高速熱処理装置 ■4深針プローバー ■非接触シート抵抗測定機 TF Lab 2020 ■卓上型マニュアルウェッジボンダー 7400D ■マルチワイヤーボンダー 7200CR

■ラジカルモニタ、高密度ラジカル源、大気圧プラズマ、温度環境試験装置、イオンビーム、ミリング装置、　他

＜Pfeiffer Vacuum＞ ■ターボ分子ポンプ　HiPace シリーズ ■ターボ分子ポンプ排気ユニット　Hicube シリーズ ■多段ルーツ型ドライポンプ　ACP シリーズ ■耐放射線性真空計　ModulLine シリーズ ■新型フルレンジコールドカソード真空計 ■四重極質量分析計　PrismaPlus ■ヘリウムリークディテクタ　ASM シリーズ　他

SENTECH Instruments GmbH製

■ALD原子層堆積装置 ■In-Situエリプソメーター ■分光エリプソメーター

■モバイルコンビ レーザーMBE装置 MC-LMBE ■原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000 ■光学・電気測定用極低温冷凍機システム ■各種真空コンポーネント

■ワイドダイナミックレンジ光電子増倍管ユニット/ＭＰＰＣ・ＭＰＰＣモジュール/ＰＭＡ-12マルチチャンネル分光器/マイクロＰＭＴ/ミニ分光器/深紫外光源

■理系漫画家はやのんによる，理工系の研究紹介漫画・イラストレーション・似顔絵の展示・制作実演．日刊工業新聞連載漫画『キラリ研究開発』，大学・研究所の漫画パンフレットの展示・配布を行います．

■日立国分機器エンジニアリング製: 小型イオンビームミリング装置 ■ムサシエンジニアリング製: 表面活性化常温接合装置

■電子顕微鏡および周辺機器

TBD

■RFプラズマソース ■バルブドクラッカーセル ■クヌーセンセル各種

■液晶チューナブルフィルター＆冷却CCDカメラ、ハイパースペクトルイメージングシステム、ファイバー入射型分光器　他

■超高密度大気圧プラズマユニット　Tough Plasma　FPB20 ■超高密度大気圧プラズマ研究用ユニット（参考出展）

■フジキンのFCS（Flow Control System）シリーズは、ながれ（流体）制御技術を常にリード致します。ながれ（流体）制御のキーモジュール、バルブと継ぎ手は、フジキンにお任せください！

■AFM（原子間力顕微鏡）およびX線回折装置のご紹介

■京都大学で開発されたミストCVD法をコア技術とした京大発のベンチャーです。ミストCVD法による成膜技術を紹介します。

■イメージング分光システム

■DC / RF測定対応マニュアル＆セミオートプローバー・高周波プローバー　他

■アクティブ微小振動制御システム（TSシリーズ、AVIシリーズ） G-zero