[13p-2F-1~16] 3.7 レーザープロセシング

△ [13p-2F-3] 液中レーザー溶融法におけるパルス周波数の影響

〇榊 祥太¹、越崎 直人¹、池上 浩²、石川 善恵³、辻 剛志⁴ (1.北大院工、2.九大院工、3.産総研、4.島根大院工)

キーワード：球状粒子、サブミクロン、酸化亜鉛

「液中レーザー溶融法」と称される手法によって、真球に近い形状を持ち、結晶性が高いサブミクロンサイズの粒子を合成できる。本研究では、液中レーザー溶融法におけるパルス周波数の影響を評価した。照射パルス総数を一定にしてパルス周波数を変化させると、低フルーエンス時は周波数に関わらずサブミクロン球状粒子を合成できた。しかし、高フルーエンス時はパルス周波数が大きい条件でナノ粒子が生成した。