[13p-PB6-1~20] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-PB6-8] プラズマ手法による酸化亜鉛薄膜の合成

〇渡邉 幸輝¹、竹内 健太¹、種村 眞幸¹ (1.名工大院工)

キーワード：酸化亜鉛