2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[14a-2F-1~9] 3.7 レーザープロセシング

2015年9月14日(月) 09:30 〜 12:00 2F (221-2)

座長:下間 靖彦(京大)

09:30 〜 09:45

[14a-2F-1] 真空紫外レーザーによるシリコーンゴム表面への微細周期構造の形成

〇ウィスヌ セティオ1、大越 昌幸1、山下 嗣人2 (1.防衛大、2.関東学院大)

キーワード：ArFエキシマレーザー、シリコーン、微細周期構造