2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

1 応用物理学一般 » 1.6 超音波

[14a-2K-1~12] 1.6 超音波

2015年9月14日(月) 09:00 〜 12:15 2K (225)

座長:近藤 淳(静岡大)

10:45 〜 11:00

△ [14a-2K-7] Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子

〇森 剛志1、鈴木 雅視2、柳谷 隆彦2 (1.名工大、2.早稲田大)

キーワード：極性反転、ScAlN、圧電デバイス