[14a-2K-1~12] 1.6 超音波

[14a-2K-9] 高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― 回転YカットLiNbO₃におけるカット角依存性 ―

〇垣尾 省司¹、保坂 桂子¹ (1.山梨大院)

キーワード：リーキー弾性表面波、AlN薄膜

AlN薄膜を装荷した回転YカットLiNbO₃において，リーキー弾性表面波(LSAW)伝搬減衰のカット角依存性を検討した．AlN薄膜の膜厚増加に従い，ゼロ減衰を示すカット角が60°付近から0°にシフトすることを理論的，実験的に明らかにした．