[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-4F-2] 水溶性犠牲層を用いた薄膜の単離

〇(M2)宮本 優¹、山野 将史¹、藤井 裕真¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、瀧 真²、長谷川 祐史²、辻 信広²、西内 満美子³、榊 泰直³、近藤 公伯³ (1.豊橋技科大、2.オンワード技研、3.原子力機構)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、犠牲層、自立薄膜

レーザー駆動型のイオン加速に用いる薄膜としてダイヤモンドライクカーボン (diamond like carbon; DLC) や金 (Au) などが注目されている。自立膜を得る手法として，支持基板と目的薄膜との間に犠牲層となる中間層を形成し，薬品等でその中間層を除去することで目的薄膜を支持基板から単離させる方法がある。本研究では水溶性犠牲層を用い，DLCとAuの離膜を行った。