[14a-4F-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[14a-4F-3] Multi-layer-model analysis for amorphous hydrogenated carbon films

〇Nobuya Kubo¹, Satoru Arakawa¹, Sarayut Tunmee¹, Xiao Long Zhou¹, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ.Tech.)

Keywords:amorphous hydrogenated carbon films,multi-layer-model

プラズマ化学気相析出法(PECVD)を用いて構造の異なるアモルファス水素化炭素(a-C:H)膜を堆積し，単層モデルの光学定数と構造を比較することで構造特異性があることが報告されている．またX線反射率法 などを用いた多層モデルによる解析が報告されており,多層モデルによる解析を行うことで詳細なa-C:H膜の構造解析が期待できる.本研究ではPECVDを用いて膜厚およびバイアスの有無を変化させa-C:H膜を堆積し,異なる解析モデルにより密度と光学定数の解析を実施した.