[14a-PB7-1~14] 16 非晶質・微結晶

[14a-PB7-14] Siアルカリエッチングによる規則配列ピラミッドテクスチャーの作製

〇伊藤 和男¹、上原 直己¹、福田 卓也¹、野口 克也¹ (1.群馬大院理工)

キーワード：ピラミッドテクスチャー、シリコン、異方性アルカリエッチング