[14p-1B-1~9] 酸化物半導体の評価技術

[14p-1B-7] 反応性プラズマ蒸着法における成膜粒子の入射エネルギーおよびイオン化率の定量分析

〇北見 尚久¹、宮下 大¹、酒見 俊之¹、青木 康¹、加藤 隆典¹ (1.住友重機械)

キーワード：イオン化率、プラズマ診断、定量分析