[14p-2T-15~20] 17.2 構造制御・プロセス

[14p-2T-17] ＣＶＤ法によって銅箔の両面に成長させたグラフェン膜に由来するモアレパターンの解析

〇山崎 憲慈¹、前原 洋祐¹、郷原 一寿¹ (1.北大工)

キーワード：グラフェン、TEM

我々は専用に開発したCVD装置により銅箔表面にグラフェンを成長させFree-standingなグラフェン膜を作製し、単原子・単分子のイメージング用ナノサポート、量子ビーム用ウィンドウ、環境セル等への応用を進めている。その過程で、ラマン分光法によって単層と同定された領域に、TEM（透過型電子顕微鏡）の実像では、２層を示すモアレパターンが観察された。解析の結果、銅箔の両面に成長したグラフェンによって通常の2層グラフェンよりも層間の広い積層構造が形成されていることが明らかとなった