[14p-PB6-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-PB6-7] 4H-SiC MISFETsのためのAl₂O₃,Al₆Si₂O₁₃ゲート絶縁膜の研究

〇赤瀬 光¹、石川 誠治²、前田 知徳²、瀬崎 洋²、Milantha de Silva¹、長妻 宏都¹、吉川 公麿¹、黒木 伸一郎¹ (1.広大ナノデバイス、2.フェニテック)

キーワード：SiC、Al2O3