[15a-1B-1~10] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[15a-1B-10] β-Ga₂O₃結晶の(010)面における光学的異方性

〇尾沼 猛儀^1,2、齋藤 伸吾²、佐々木 公平^3,2、増井 建和³、山口 智広¹、本田 徹¹、東脇 正高² (1.工学院大、2.情通機構、3.タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム、光物性、価電子帯

β-Ga₂O₃はバンドギャップエネルギー（E_g）が大きく、単結晶作製も比較的容易なため、高耐圧、低損失のパワーデバイスを低コスト・低エネルギーで製造できる材料として注目を集めている。しかし、室温のE_gは4.4~5.0 eVで様々な実験値が報告され、定まっていなかった。本講演では、(010)面における光学的異方性について調査し、β-Ga₂O₃における特異な光学的異方性に関して詳細に調査した結果を報告する。