[15a-1E-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[15a-1E-4] 有機-無機ハイブリッド型ZnSe系紫外APDの開発～APDアレイのクロストーク特性～

〇内田 繁人¹、田中 健太¹、井上 亮一¹、藤本 健¹、田末 章男¹、平野 弘樹¹、加納 卓弥¹、阿部 友紀¹、笠田 洋文¹、安東 孝止¹、市野 邦男¹ (1.鳥取大工)

キーワード：アバランシェ・フォトダイオード

紫外光検出器は様々な分野での応用が期待されている．本研究では紫外領域に高い感度を持つZnSe系有機‐無機ハイブリッド構造の紫外アバランシェ・フォトダイオード(APD)の研究・開発を行っている．素子の信号分離状況の検討を行い，紫外集積型APDの実用化を目指す．