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[15a-2F-1] Au/Ta2O5/Pd/Ptの多層膜構造を利用したヘテロコア光ファイバSPR水素センサの応答特性評価
キーワード:光ファイバ、水素センサ、白金
水素センサに使用されるPdは,水素吸蔵・放出過程で相転移による劣化が生じる.本稿では,本研究室で開発されてきたAu/Ta2O5/Pdの多層膜構造を利用したヘテロコア光ファイバSPR水素センサにPtを形成し,Pdの劣化による応答特性の再現性低下の抑制を図る.結果として,Pd膜単体のセンサでは経時変化による感度低下の差が0.044dB,Pd-Pt膜のセンサでは0.025dBであった.Pt膜の形成によって,水素センサの応答特性の再現性低下を抑制する効果が示唆された.