[15a-2Q-1~12] 8.4 プラズマエッチング

[15a-2Q-3] 高圧水素プラズマを用いた銅の高速エッチング

〇(M2)佐藤 純平¹、平野 達也¹、久保田 雄介²、垣内 弘章¹、安武 潔¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工、2.東京エレクトロン株式会社)

キーワード：銅、水素プラズマ、高圧