[15a-PB4-1~9] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[15a-PB4-1] Sub-1G～20G集積化MEMS加速度センサの基本評価

〇山根 大輔^1,4、小西 敏文²、年吉 洋^3,4、益 一哉^1,4、町田 克之^1,2,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、加速度センサ、1G以下

小型加速度センサにおける技術課題の一つは，1G（1G = 9.8 m/s²）以下の高精度検知である。そこで我々は，1G以下から20Gまで1チップ検知可能なMEMSセンサを提案した。今回，高密度材料を用いてセンサの小型化と高性能化を両立し，4mm角チップに1G以下から20Gまでを検知可能な1軸静電容量型MEMSセンサを試作した。センサ基本特性の実測結果より，提案するMEMS加速度センサの実現見通しを得た。