[15a-PB4-1~9] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[15a-PB4-2] ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討

〇小西 敏文¹、山根 大輔^2,4、高安 基大^2,4、伊藤 浩之^2,4、道正 志郎^2,4、石原 昇^2,4、益 一哉^2,4、年吉 洋^3,4、町田 克之^1,2,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、加速度センサ、ゲイン制御

我々は、小型かつ低ノイズな静電容量型MEMS 加速度センサについて研究開発を行っている。これまで、回路シミュレータを用いたMEMS 加速度センサの等価回路モデルを提案し、センサ回路と組み合わせたCMOS-MEMS 加速度センサを検討した。今回、センサ回路の電圧出力ゲインを制御可能とするCMOS-MEMS 加速度センサのためのセンサ回路を新たに提案し設計した。設計結果より、提案回路を用いて、印加加速度を電圧値として検出できる見通しを得た。