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[15p-1D-1] パルス励起堆積法による新奇ヘテロエピ構造の創製
キーワード:窒化物半導体、低温結晶成長
窒化物素子は通常1000℃以上の高温で形成される。もしこの温度を低減することができれば、新たなヘテロ構造素子を提案することができる。我々はこれまで、パルス的なエネルギー源を用いて結晶成長反応を行うと、基板表面での原子のマイグレーションが促進され、低温でも高品質な結晶が得られることをしめしてきた。本講演ではパルス励起源を用いた結晶成長の成長メカニズム・特徴とそのヘテロ構造作製への応用を詳説する。