[15p-1G-1~19] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [15p-1G-6] ロールツーロールプロセスに適した有機回路低電圧化技術

〇栗原 一徳¹、青木 俊介²、河合 武司²、吉田 学¹ (1.産総研、2.東京理科大)

キーワード：有機エレクトロニクス、自己組織化単分子膜、ロールツーロール

本研究では比較的簡便で再現性の高い、自己組織化単分子（SAM）による溶液プロセスにより連続的な絶縁膜成膜ができるプロセスの開発を行った。現在、高品質なSAMの成膜には真空中の酸素プラズマによる処理が必要であるが、本研究ではこのプロセスを大気圧プラズマに置換することで連続プロセスを可能にした。これによりロールツーロール化が可能な低電圧化技術を実現し、実際に発振回路の動作に成功したためこれを報告する。