[15p-2V-1~22] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [15p-2V-7] 円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマ生成

〇(M1)長谷川 雄一¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、スーナム パーク²、小林 理²、菅井 秀郎³ (1.中部大工、2.アプライドマテリアルズ、3.名産研)

キーワード：円筒キャビティ、固体アンプ、マイクロ波プラズマ