[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

△ [15p-4E-8] 円環・円孔電極を用いた電界型Csコレクタの開発（2）―実験―

〇小川 雄紀¹、高井 康行¹、川﨑 忠寛^2,3、石田 高史³、児玉 哲司¹、生田 孝⁴ (1.名城大学大学院 理工学研究科、2.(財)ファインセラミックスセンター、3.名古屋大学 エコトピア科学研究所、4.大阪電気通信大学 工学部)

キーワード：球面収差補正器、電界レンズ、走査透過型電子顕微鏡

円環状電極と円孔電極の間に定電圧を印加することで球面収差が補正できる新しい装置（ACEコレクタ）を独自開発した。集束イオンビーム（FIB）で作製した2枚の電極を絞りホルダを改良した装置に組み、STEM（日立ハイテク HD2300S；200kV）に挿入し原理検証実験を行った。ACEコレクタに約10V程度の電圧を印加することで球面収差補正されCeO₂の結晶格子が明瞭に現れることを確認した。これより本開発装置による球面収差補正・分解能向上が実証された。