17:45 〜 18:00
△ [15p-4F-17] 原料気体の高炭素濃度化によるヘテロエピタキシャルダイヤモンドの高速成長
キーワード：ダイヤモンド膜、プラズマCVD
講演情報
一般セッション(口頭講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[15p-4F-1~25] 6.2 カーボン系薄膜
2015年9月15日(火) 13:15 〜 20:00 4F (438)
座長:小山 和博(デンソー),齊藤 丈靖(大阪府立大),嘉数 誠(佐賀大)
一般セッション(口頭講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2015年9月15日(火) 13:15 〜 20:00 4F (438)
座長:小山 和博(デンソー),齊藤 丈靖(大阪府立大),嘉数 誠(佐賀大)
17:45 〜 18:00
キーワード：ダイヤモンド膜、プラズマCVD