[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-32] プラズマ支援ミスト化学気相堆積におけるミストが製膜形状に与える影響

〇竹中 弘祐¹、内田 儀一郎¹、節原 裕一¹ (1.阪大接合研)

キーワード：透明導電膜