[16a-2E-1~9] 3.13 半導体光デバイス

[16a-2E-8] 横方向複合共振器面発光レーザによる高速ビームスイッチング動作

〇中濱 正統¹、顧 暁冬¹、坂口 孝浩¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大精研、2.東工大MEMSプロセス)

キーワード：面発光レーザ

本報告では，横方向複合共振器面発光レーザ構造を用いた，ビーム角度の動的切り替えの新規手法を提案する．製作した素子において30°以上の大きなビーム偏向角，広がり角4°以下の鋭いビーム特性とともに，8dBの消光比で1.3×10¹¹ °/sの高速な角度スイッチング速度が得られた．