[16a-2Q-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-2Q-1] 還元性大気圧Ar/NH₃プラズマプロセスによる自己組織化銀粒子パターンの評価

〇木原 直也^1,2、Blanquet Ella^1,2、平岡 悠¹、酒井 道^1,2 (1.京都大院工、2.滋賀県大工)

キーワード：銀粒子、微細パターン、ヒドラジン