[16a-4E-1~8] 7.1 X線技術

[16a-4E-8] 二温度保存型放射流体計算によるレーザー生成EUVスズプラズマシミュレーション

〇砂原 淳¹、竹内 靖¹、西原 功修²、佐々木 明³ (1.レーザー総研、2.阪大レーザー研、3.原研関西光量子)

キーワード：半導体リソグラフィ、輻射流体シミュレーション、レーザー生成スズプラズマ

EUV光源に用いられるレーザー生成スズプラズマの長時間の時間発展を計算するために、二次元保存型放射流体コードを開発した。従来の非保存型スキームでは100ns以上の計算になると質量等の保存が保たれなくなり、誤差が目立つ。現在、レーザー吸収、電子熱伝導、輻射輸送を結合させて統合コード化し、コードのテストをおこなっている。保存型コードのテスト結果及び長時間のレーザー生成スズの時間発展について報告する。