[16p-1G-1~13] 12.4 有機EL・トランジスタ

[16p-1G-12] ゲート変調イメージングによる大面積有機トランジスタアレイの性能分布の高速一括評価技術の開発

〇堤 潤也¹、松岡 悟志¹、福原 克郎¹、山田 寿一¹、長谷川 達生^1,2 (1.産総研、2.東大工)

キーワード：アクティブバックプレーン、有機薄膜トランジスタ、一括検査技術

我々は、数百万個もの膨大な数のトランジスタから構成されるアクティブバックプレーンについて、ディスプレイの輝度むらや表示速度低下に影響する素子性能（移動度・応答速度）の分布を一括検査可能なゲート変調イメージング（GMI）法の開発を進めている。今回、測定範囲の大面積化と測定時間の短縮化に取り組み、一括評価可能な素子数の大幅な向上を達成したので報告する。