[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [16p-2Q-2] MVP法による小径円筒内面へのDLC成膜における原料ガス吹き付けの影響

〇萩山 慶彦¹、上坂 裕之¹、梅原 徳次¹ (1.名古屋大学工学研究科)

キーワード：CVD、DLC、内面成膜

ミリメートルサイズのパイプ及びシリンダーなどの小径円筒形状内面にDLC膜を形成することでそのような機械部品のしゅう動特性や耐摩耗性を改善したいというニーズがある．我々は小径円筒内面へのDLC成膜を可能にする方法としてMVP法を提案してきたが，膜硬度が低いという問題があった．本研究ではMVP法における基材に対する原料ガスの吹き付けが膜硬度をはじめとする膜特性に及ぼす影響を明らかにする．