[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-11] ミニマル装置群によるBGAパッケージングプロセス

〇居村 史人¹、井上 道弘²、猿渡 新水^{1, 2}、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ, 2.産総研)

キーワード：ミニマル