[11a-C2-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [11a-C2-6] 反応支援型ミストCVD法により低温成長した酸化アルミニウム(AlO_x)薄膜のパッシベーション応用特性

〇内田 貴之¹、川原村 敏幸²、藤田 静雄¹、平松 孝浩³、織田 容征³ (1.京大院工, 2.高知工大 総研, 3.東芝三菱電機産業システム)

キーワード：パッシベーション、酸化アルミニウム、ミストCVD