[11a-C2-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[11a-C2-7] 新規アルミニウム源による酸化アルミニウム膜の形成と太陽電池応用

〇高橋 清¹、轟 宗一郎²、宮島 晋介² (1.日本アルキルアルミ, 2.東工大院理工)

キーワード：酸化アルミニウム膜、原子層堆積法、パッシベーション膜