[11p-D7-1~14] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [11p-D7-5] 非晶質基板上ゲルマニウム薄膜の(111)面配向結晶化におけるレーザーアニール条件の検討

〇高尾 透¹、堀田 昌宏¹、仁枝 嘉昭¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：ゲルマニウム、レーザーアニール