2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[11p-P6-1~24] 16 非晶質・微結晶(ポスター)

2015年3月11日(水) 16:00 〜 18:00 P6 (総合体育館)

16:00 〜 18:00

[11p-P6-12] TMAHによるテクスチャ付シリコン基板のライフタイム改善

〇寺澤 良平1、兼松 雅斗1、武藤 芳樹1、西田 哲1、牟田 浩司1、栗林 志頭眞1 (1.岐阜大院工)

キーワード:ライフタイム、シリコン