[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-3] Si結晶中の低濃度炭素の赤外吸収測定 (VI) 5x10¹⁴ cm⁻³までのSIMS測定と標準試料

〇井上 直久^{1, 7}、渡邉 香²、後藤 安則³、大渕 真澄⁴、関 洋文⁵、鵜野 浩行⁶、河村 裕一⁷ (1.東京農工大工, 2.システムズエンジニアリング, 3.トヨタ自動車, 4.ナノサイエンス, 5.東レリサーチ, 6.住重試験検査, 7.大阪府大)

キーワード：シリコン、炭素、赤外吸収