[12p-B4-1~10] 進化するパワー半導体・・・シリコンからワイドバンドギャップへ

[12p-B4-7] 先進パワーデバイスにおける新規ゲート絶縁膜開発

〇渡部 平司¹、細井 卓治¹ (1.阪大院工)

キーワード：パワーデバイス、ゲート絶縁膜