[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[12p-P10-8] プラズマ支援原子層堆積法によるa-TiN_X薄膜の低温合成

〇柳 炳學¹、関 渓太¹、佐藤 哲也¹ (1.山梨大)

キーワード：プラズマ、半導体