[12p-P9-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

[12p-P9-4] パルスマイクロ波プラズマを用いたインライン溶液処理装置における処理性能のDuty比依存性

〇伊藤 美智子^{1, 3}、高島 成剛³、野村 記生⁴、北川 富則⁴、豊田 浩孝^{1, 2} (1.名大工, 2.名大プラズマナノ, 3.プラズマ技術産業応用センター, 4.三進製作所)

キーワード：液中プラズマ