[13a-A24-1~13] 13.3 絶縁膜技術

[13a-A24-10] ３次元アトムプローブ法によるAl₂O₃膜中の水素分布評価

〇清水 康雄¹、韓 斌¹、井上 耕治¹、矢野 史子²、井上 真雄³、国宗 依信⁴、島田 康弘⁴、片山 俊治⁴、井手 隆⁴、永井 康介¹ (1.東北大金研, 2.東京都市大, 3.ルネサス, 4.ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング)

キーワード：３次元アトムプローブ、水素、Al2O3